防振臺/防震臺/主動防振系統(tǒng)AVI-600系列

     產(chǎn)品特點     

◆ 5-20毫秒的響應(yīng)時間

◆ 六個角度方向自由防震

◆ 低頻隔振性能優(yōu)異，安裝和使用簡單

◆ 緊湊、模塊化的多功能設(shè)計

◆ 無低頻共振并沒有空氣要求

◆ 主動防振頻率1Hz~200Hz，被動防振頻率＞200Hz

◆ 系統(tǒng)主動檢測輸入振動并動態(tài)消除

◆ 適用范圍：光譜儀器、高精度計量工具、隧道顯微鏡、光刻工具、SEM、TEM、UHV-SPM

     防振效果     

◆ 隔振性能比&隔振效果圖

     應(yīng)用領(lǐng)域     

     技術(shù)參數(shù)     

     結(jié)構(gòu)示意圖     

◆ AVI-600S/LP 單模塊結(jié)構(gòu)示意圖

◆ AVI-600M/LP 單模塊結(jié)構(gòu)示意圖

◆ AVI-600XL/LP 單模塊結(jié)構(gòu)示意圖

     產(chǎn)品選配     

◆ 低頻傳感器LFS-3：搭配LFS-3低頻傳感器后，AVI系列主動減振設(shè)備可以降低到0.7Hz的隔離頻率

     安裝示意圖